泄漏的检测方法有浸水法、涂肥皂液法、放电法、漏嘴测量法及压力测量法等。浸水法及涂肥皂液法只能做定性观察而且有很大的局限性;漏嘴测量法,测量准确度低、价格高、易损坏且对操作员要求高;放电法也仅适用于真空系统的玻璃容器;唯有压力测量法适用面广、测量准确度高、性能稳定且操作简便,在近年来得到越来越多地重视和运用。
处于压力测量状态下的密封容器的泄漏意味着容器内所含物质量的减少。例如,当容器压力为100kpa时,且容器内所含物质为空气,并设容器容积为100ml,其含空气的质量约为120mg,这时容器若有微量泄漏,则引起所含空气质量的变化是十分微小的,采用直接测量质量变化的方法来检测泄漏,在理论上是可行的,但在技术上、工艺上往往是做不到的。而真空测漏箱采用压力检测方法,却可以高精度、非常灵敏地检测密封容器因泄漏引起的微小质量变化。
第一、压力检漏法
压力检漏法是指将被检漏的真空系统或真空容器充入具有一定压力的示漏物质,如水、空气等,一旦被检空间存在漏隙,示漏物质就会从漏隙中漏出。这样通过一定的方法或仪器发现从漏隙中漏出的示漏物质,从而发现漏隙所在以及漏隙的泄漏量情况。
第二、真空检漏法
真空检漏法与压力检漏法相反,是将被检的真空系统或真空容器与检漏设备的敏感元件抽成真空状态,然后将示漏物质依次施加在被检系统或容器的外面可疑部位。如果被检的真空系统或真空容器存在漏隙,示漏物质会通过漏隙进入到真空系统或真空容器中,并被检漏设备的敏感元件检测到、判断出漏隙位置与大小等情况。
第三、背压检漏法
背压检漏法是压力检漏与真空检漏相结合的一种方法,多用于封离后的电子器件、半导体器件等密封件的无损检漏。一般包括充压、净化、检漏三个步骤:先是被检设备置于高压示漏气体环境中,随着浸泡时间的增长及充压的增大,示漏气体进入被检设备;然后利用干燥氮气或静置等方法净化吸附在被检设备外表面的示漏气体(净化时间的长短会影响到进入被检设备内的示漏气体的分压);最后将被检设备放入装有检测仪的真空环境中,利用压差,检测漏隙的存在与大小。
这三种检漏方法都是大的类型方式,每一种检漏方式又可分为若干小类的检漏方法,对应不同的设备与检漏率。